恒歌國產MF系列儀器保護專用過濾器(VCR 過濾墊片),低壓款專為半導體氣體分配系統(tǒng)精心研制。其采用全金屬 316L 不銹鋼結構,耐高溫、耐高壓、耐腐蝕性能卓越。該過濾器兼容 1/4”、3/8” 及 1/2”VCR 標準墊圈接口,采用墊片式...
恒歌納米級高壓氣體專用過濾器,專為半導體制程中的高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)量身打造。其采用堅固的 316L 不銹鋼整體結構,設計壓力達 50Mpa,重量相對較輕,實現(xiàn)輕量化與小型化,減少安裝空間,通過螺紋連接確保密封性,兼容 C...
恒歌壓縮空氣精密過濾器是一款專為高壓氣體(如空氣、天然氣、氮氣、氧氣等)設計的高效過濾設備,能夠有效去除氣體中的水分、油分、灰塵等雜質,確保氣體的純凈度和干燥度。
半導體氣體過濾器_超高壓氮氣氫氣高純過濾器大型設備
DF系列擴散器專用過濾器專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計。它結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,能夠有效減少工藝腔體排氣時的湍流,確保氣體的平穩(wěn)流動。這種過濾器的過濾精度高達0.003μm,能夠有效防止氣流吹起...
恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設計的高性能氣體過濾設備。該過濾器采用全316L不銹鋼構造,堅固耐用,緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術,確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm,...
恒歌SF系列IGS面板專用過濾器是專為半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)設計的高性能氣體過濾設備。該過濾器采用全316L不銹鋼構造,堅固耐用,緊湊的體型融合了全焊接與機械密封技術,確保了過濾器的高可靠性和長壽命。其過濾精度高達0.003μm,...
恒歌0F系列在線式專用氣體過濾器是專為高流量電子級氣體超純凈化設計的高效過濾設備。其過濾精度高達0.003μm,能夠有效去除氣體中的微小顆粒和雜質,確保氣體的超高純度。該系列過濾器采用全焊接316L不銹鋼外殼,結構緊湊、強度高,與多種半導體...
MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質、專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲...
MF系列儀器保護專用過濾器,全金屬材質,專為半導體氣體分配系統(tǒng)設計,兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝,是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下,能有效阻隔微粒侵...
W型一體式過濾器.全焊接結構,杜絕泄露過濾面積大,流量系數(shù)高,.逆流時,可完成沖洗過程.閥體和過濾元件全滲透焊接.過濾元件公稱孔尺寸:0.5、2、7、15、40um.工作壓力可達:414bar(6000psig).工作溫度:-28~+482...
TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導體領域設計,精準清除UHP超純氣流微粒,保障生產純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風險,確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結構緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,...